真空脈沖離子氮化是一項(xiàng)新技術(shù)，較傳統(tǒng)的離子氮化具有很多優(yōu)點(diǎn)，首先是脈沖離子氮化具有物理參數(shù)單獨(dú)控制、工藝參數(shù)獨(dú)立調(diào)節(jié)且變動(dòng)范圍大的特性；由于脈沖電源對(duì)弧光放電的抑制作用，因此對(duì)于很多零件無需堵孔、可獲得高質(zhì)量的表面、絕無灼傷；能提高層深、節(jié)能、能提高設(shè)備的利用率；可在深孔、窄縫、微孔內(nèi)實(shí)現(xiàn)離子氮化。

真空脈沖離子氮化工藝過程就是向真空爐中通入氨氣，即工件裝入真空爐后開始啟動(dòng)機(jī)械泵抽氣，當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值 ( 多為 1. 33Pa) 時(shí)，通電升溫，同時(shí)繼續(xù)抽真空，保持爐內(nèi)的真空度，爐溫達(dá)到要求的滲氮溫度后，保溫一定時(shí)間，然后停止抽真空，向爐內(nèi)通人干燥的氨氣，使?fàn)t壓升高至 50 ～ 70Pa ，保持一定時(shí)間，再抽真空并保持一定時(shí)間，再通入氨氣，如此反復(fù)進(jìn)行多次，直到滲層達(dá)到要求為止。在整個(gè)氮化過程中爐溫保持不變。

真空脈沖離子氮化后工件表面硬度較高，滲氮速度較普通氣體滲氮快很多，如 38CrMoAl 鋼，經(jīng) 550 ℃× 10h 真空脈沖滲氮較普通氣體滲氮 540 ℃× 33h 具有相近的氮化層深度。

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