零件進(jìn)行離子滲氮時(shí)，有許多需要注意的事項(xiàng)，忽視它們往往會(huì)給操作造成困難，使之無法進(jìn)行下去，或者滲氮質(zhì)量達(dá)不到要求，下面是小編整理的離子滲氮爐的操作規(guī)范。 

一、準(zhǔn)備 

1、爐體內(nèi)外及電柜保持清潔。

2、檢查爐體及電器柜的保護(hù)接地是否良好。 

3、檢查各種儀器儀表是否處于正常工作狀態(tài)。 

4、檢查供氣系統(tǒng)、供水系統(tǒng)是否暢通、有無阻塞現(xiàn)象。 

5、確保真空密封圈完好、干凈，真空泵的真空油量符合油標(biāo)高度。

6、認(rèn)真清理工件上的毛刺、銹跡、油漆等污物，并用汽油或洗滌劑仔細(xì)清洗，特別是小孔、不通孔和溝槽等處。

7、裝爐時(shí)，應(yīng)戴上干凈手套，按工藝規(guī)定方式及數(shù)量裝爐，并有利于工件溫度均勻。

8、同一爐應(yīng)盡可能裝同一種工件，必要時(shí)工件的有效厚度和滲層深度也應(yīng)盡可能相同。 

9、根據(jù)需要布置輔助陽極或輔助氣源。長度L與內(nèi)徑D之比L/D>6的深孔工件，或內(nèi)孔壁滲氮層要求均勻的工件，內(nèi)孔可設(shè)輔助陽極；L/D >16的工件，內(nèi)孔需設(shè)輔助氣源。

10、封爐前，將密封圈處仔細(xì)擦干凈，落下爐罩或爐蓋時(shí)要平穩(wěn)，不得使工件與爐體相碰。

二、操作要點(diǎn) 

1、抽真空。接通總電源，關(guān)閉蝶閥，起動(dòng)真空泵，緩慢打開蝶閥，以避免發(fā)生噴油現(xiàn)象，抽真空至極限真空度。

2、向爐內(nèi)通少量氨氣或氨分解氣，沖洗爐體幾分鐘。在真空度為67Pa左右時(shí)，可對(duì)爐內(nèi)輸入400~500V高壓電流電，使工件起輝，對(duì)工件打散弧以活化工件表面。 

3、在30~ 60min內(nèi)使輝光穩(wěn)定，逐步減少限流電阻或降低滅弧靈敏度。

4、按工藝調(diào)整真空度、電壓、電流、氣體流量等參數(shù)。真空度應(yīng)通過調(diào)整流量計(jì)和蝶閥來進(jìn)行，使抽氣速率平穩(wěn)。 

5、升溫過程中要注意經(jīng)常觀察爐內(nèi)工作情況，如出現(xiàn)打弧或局部溫度過高等現(xiàn)象時(shí)，要及時(shí)調(diào)整各項(xiàng)參數(shù)，降低電壓，以降低升溫速度，或暫停供氣。

6、升溫至200℃后通冷卻水，爐體溫度應(yīng)控制在40~60℃。

7、在保溫階段，所需的電流密度小于升溫時(shí)所需的電流密度，真空度為267~800Pa，輝光層厚度一般為1.5~3mm。保溫期間應(yīng)穩(wěn)定氣體流量和抽氣率，以穩(wěn)定爐內(nèi)氣壓，也應(yīng)隨時(shí)觀察爐內(nèi)工作狀況，發(fā)現(xiàn)情況及時(shí)處理。 

8、保溫結(jié)束后即可降溫。先停止供氣，關(guān)閉氣源、電磁閥；然后停止供電：調(diào)低電壓，切斷高壓電源，將有關(guān)旋鈕、開關(guān)及手柄復(fù)位。

9、將爐內(nèi)抽至極限真空度，關(guān)閉蝶閥，停止真空泵。 

10、根據(jù)工藝需要、工件復(fù)雜程度及變形要求等實(shí)際情況，控制冷卻速度。方法是：若要降低冷卻速度，可以停止向爐內(nèi)供氣，停止抽氣，以小電流維持弱輝光，待工件溫度降至300℃以下時(shí)再加快冷卻速度。若要加快冷卻速度，可以關(guān)掉高壓，繼續(xù)送氣、抽氣，加大冷卻水量。

11、工件溫度降至200℃以下時(shí)，停止冷卻水。工件溫度降至150℃以下時(shí)，即可打開放氣閥向爐內(nèi)充氣，充氣結(jié)束后再起吊出爐。