真空脈沖離子氮化是一項新技術,較傳統(tǒng)的離子氮化具有很多優(yōu)點,首先是脈沖離子氮化具有物理參數(shù)單獨控制、工藝參數(shù)獨立調(diào)節(jié)且變動范圍大的特性;由于脈沖電源對弧光放電的抑制作用,因此對于很多零件無需堵孔、可獲得高質(zhì)量的表面、絕無灼傷;能提高層深、節(jié)能、能提高設備的利用率;可在深孔、窄縫、微孔內(nèi)實現(xiàn)離子氮化。
真空脈沖離子氮化工藝過程就是向真空爐中通入氨氣,即工件裝入真空爐后開始啟動機械泵抽氣,當真空度達到設定值 ( 多為 1. 33Pa) 時,通電升溫,同時繼續(xù)抽真空,保持爐內(nèi)的真空度,爐溫達到要求的滲氮溫度后,保溫一定時間,然后停止抽真空,向爐內(nèi)通人干燥的氨氣,使爐壓升高至 50 ~ 70Pa ,保持一定時間,再抽真空并保持一定時間,再通入氨氣,如此反復進行多次,直到滲層達到要求為止。在整個氮化過程中爐溫保持不變。
真空脈沖離子氮化后工件表面硬度較高,滲氮速度較普通氣體滲氮快很多,如 38CrMoAl 鋼,經(jīng) 550 ℃× 10h 真空脈沖滲氮較普通氣體滲氮 540 ℃× 33h 具有相近的氮化層深度。
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